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洁净厌氧高温气氛炉
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洁净厌氧高温气氛炉
C1-008
光刻工艺后段,光刻胶固化。
特点
  • 最高工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。
  • 程序运转功能,有自动/手动两种操作模式。
  • 快速升温、降温,降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。
  • 配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。
  • 全不锈钢材质。
  • 在安全方面,配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。
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